近几年,济南一直在加码布局集成电路产业,力争“弯道超车”。济南市《2025年国民经济和社会发展计划》明确提出,要加快培育产业新动能,重点打造第三代半导体产业高地。作为核心集聚区,济南高新区向“芯”而行、向“高”而攀,正在集成电路关键领域塑造独特优势。不久前,山东省工信厅公布“2025年省级先进制造业集群”名单,济德集成电路集群上榜。

　　今年6月底,济南市艾恩半导体科技有限公司首款自主研发的硅基中束流离子注入机成功下线,这一突破为济南集成电路产业补链强链再添关键一环。预计9月份这台设备将交付给客户端。

　　离子注入机是芯片制造关键装备之一,被誉为芯片的“微型电工师”。国内离子注入机市场规模快速增长,2023年以前,该设备几乎完全依赖进口,时至今日,国内有能力生产该设备的企业不超过5家,艾恩半导体是其中之一。

　　艾恩半导体致力于打破国外技术垄断,是国内重要的离子注入机设备研制企业。为补齐芯片制造设备关键短板,济南高新区积极与艾恩半导体对接,联合鲁信创投集团、济南财投基金集团、山东产研创业投资有限公司等投资机构,出资参与艾恩半导体天使轮、A轮融资,为企业前期发展注入关键资金。

　　“半导体装备技术含量高、资金投入大、投资周期长,艾恩天使轮投资得到鲁信创投1500万元的资金支持。2024年,很多行业融资遇冷,我们的A轮融资又得到山东省5家投融资机构的支持,原本计划融资5000万元,蕞后超融至8000多万元。经过实地考察,我们决定整体搬迁到济南发展。”回想从前期融资到决心来济南扎根发展的过程,艾恩半导体创始人钟新华感慨万千。“半导体装备制造这个圈子很小,团队同事来自天南海北,济南这边的园区环境、行业氛围都不错。”钟新华说。

　　艾恩半导体项目总投资3亿元,年产能达30台,其价格降至进口同类装备的1/2,但仍高达1500万元/台。一台离子注入机由近2万个零部件构成,得益于山东省的产业配套优势,艾恩半导体超过50%的零部件能省内完成采购和加工,显著降低供应链风险。到今年年底,艾恩半导体将交付4台设备,预计产生销售收入5000多万元。

　　艾恩半导体“卡链”入济,有效填补了山东省在高端半导体装备制造领域的空白,为国内芯片产业链自主化注入强劲动能。对标国际领先技术水平,钟新华与同事正在攻关第二代碳化硅离子注入机,预计9月面世,这将是首款国产替代产品。

　　走进山东高云半导体科技有限公司的实验室,工作人员正全神贯注地进行新产品的性能测试。高云半导体是济南高新区芯片设计领域的重点企业,是国内首家实现车规芯片量产的国产FPGA厂商,产品应用于通信、工业、汽车电子、消费电子等领域,并出口至多个国家和地区。

　　“这些年,园区的集成电路公共服务平台为我们的产品研发省了大钱!”高云半导体软件工程总监杜金凤介绍。杜金凤提到的公共服务平台其实是三个,分别是集成电路设计公共技术服务平台、国产EDA高性能研发平台、集成电路快速封装测试平台,都部署在齐鲁软件园大圆环载体,对高云半导体这样的园区企业而言,“楼上研发、楼下测试”,非常方便。

　　“2008年,科技部批准成立国家集成电路设计济南产业化基地,这是目前国内8个国家级IC基地之一。齐鲁软件园是济南基地的运营和服务机构。”据齐鲁软件园发展中心副主任孟晨彦介绍,济南基地获批后,园区长期在集成电路设计领域精耕细作。芯片设计制造工艺十分复杂,就拿封装测试来说,芯片设计企业完成产品设计后,首先要找芯片制造厂进行小规模流片,然后再通过封装测试确保芯片的功能、性能、可靠性达到设计标准。封装测试涉及近10道工艺,打造一条封测线成本高昂,设计企业难以承担,而且芯片设计企业的封测频率不高,没有自建封测线的必要,政府主导的公共平台就成为产业链上必不可少的关键环节。

　　结合企业所需,齐鲁软件园打造了山东省规模蕞大、资源配套蕞齐全、技术蕞先进的集成电路公共服务平台,累计投入资金约1亿元。依托平台支撑,园区涌现出联暻半导体、世芯电子、概伦电子、高云半导体、方寸微等一批优秀的集成电路设计企业,济南在安全芯片研发、国产FPGA芯片研发,国产EDA工具和设计服务等领域形成产业特色,总体芯片设计水平位居全国前列。

　　近年来,济南高新区在集成电路产业持续发力,在关键核心技术突破与产业项目推进方面成果丰硕。

　　比亚迪半导体的高功率汽车芯片生产项目有效缓解新能源汽车行业产能不足问题,推动比亚迪将整条新能源车产线落地济南;恒元半导体在全球首先突破12英寸铌酸锂晶体生长技术;晶正电子研发纳米级铌酸锂薄膜,主导国家标准制定;华光光电自主研发的千瓦级碟片激光器泵浦源,有力推动高端激光装备国产化替代进程;清河电科实现我国在高端载板领域的自主可控;艾恩半导体填补山东省芯片制造装备领域空白……

　　济南高新区集成电路产业的集聚效应日益凸显,辖区打造了以齐鲁软件园、临空经济区、章锦片区为核心的“一园两区”的产业布局,齐鲁软件园侧重芯片设计,临空经济区及章锦片区侧重生产制造,构建涵盖“设计—制造—封测—应用—支撑”的全产业链发展生态,成为山东省内唯一具备全产业链能力的地区。

　　2022年—2024年的三年间,济南高新区集成电路设计公共服务平台累计服务用户23956家次、约540万小时,提供了3170人次的研发人员技术培训。2024年以来,在省科技厅的支持下,齐鲁软件园对集成电路快速封装测试平台进行了设备升级,并进一步提升了平台的公益属性。高能级的公共服务平台不仅有效降低企业的软硬件投入成本,提高研发精度和效率、缩短研发周期,还成为招商引资的重要抓手。

　　人们常说,芯片是“工业粮食”,每1元集成电路产值可带动10元电子工业产值、100元GDP增长,对地方经济形成强牵引力。2025年,济南高新区正在加快推进菲利华石创、第三代半导体产业园等项目,进一步完善全产业链,打造全省领先的集成电路制造产业集群,塑强关键领域独特优势,不断激发集成电路产业的“乘数效应”。(记者:韩霄鹏)

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